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簡(jiǎn)要描述:真空管式氣氛爐進(jìn)氣端可設(shè)置 1 個(gè)進(jìn)氣口,可選配多個(gè)進(jìn)氣口、每個(gè)進(jìn)氣口均設(shè)有針閥,連接真空表一個(gè)。出氣端連接出氣孔一個(gè),抽真孔一個(gè),所有孔均設(shè)針閥。 配備真空泵一臺(tái)。
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在現(xiàn)代材料科學(xué)和微電子技術(shù)的快速發(fā)展背景下,實(shí)驗(yàn)室用高溫管式氣氛爐作為關(guān)鍵的熱處理設(shè)備之一,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料燒結(jié)、納米粉體合成等領(lǐng)域。這類(lèi)設(shè)備以其精確的溫度控制能力、穩(wěn)定的氣氛環(huán)境以及靈活的操作方式,成為科研機(jī)構(gòu)和高校實(shí)驗(yàn)室中不可少的重要儀器。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加熱系統(tǒng)
高溫管式氣氛爐通常采用臥式結(jié)構(gòu),由耐高溫爐膛、保溫層、加熱元件、氣體控制系統(tǒng)及溫控系統(tǒng)等多個(gè)部分組成。爐膛多選用高純氧化鋁陶瓷管或石英玻璃管,具備良好的耐高溫性能和化學(xué)惰性,能夠適應(yīng)多種反應(yīng)氣氛的需求。爐體外殼則采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板,并經(jīng)過(guò)靜電噴涂工藝處理,具有較強(qiáng)的抗腐蝕能力和美觀(guān)性。
加熱元件是決定爐溫上限和均勻性的核心部件。目前主流配置為硅碳棒(SiC)或硅鉬棒(MoSi?),能夠在空氣、氮?dú)?、氬氣等多種保護(hù)氣氛下穩(wěn)定工作,最高使用溫度可達(dá)1800℃。此外,爐內(nèi)設(shè)有多個(gè)溫區(qū),通過(guò)獨(dú)立控制實(shí)現(xiàn)溫度梯度調(diào)節(jié),從而滿(mǎn)足復(fù)雜熱處理工藝的要求。
氣氛控制與安全保障
在半導(dǎo)體材料燒結(jié)和納米粉體合成過(guò)程中,氣氛環(huán)境對(duì)最終產(chǎn)物的結(jié)構(gòu)和性能起著至關(guān)重要的作用。因此,真空管式爐配備了精密的氣體控制系統(tǒng),支持多路氣體輸入(如氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣等),并可通過(guò)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行精確調(diào)節(jié)。爐尾設(shè)有排氣口,配合真空泵可實(shí)現(xiàn)抽真空—充氣循環(huán)操作,有效排除殘留空氣,提高反應(yīng)純凈度。
為了保障實(shí)驗(yàn)安全,設(shè)備還配備了一系列防護(hù)措施。例如,爐門(mén)設(shè)有過(guò)壓泄放裝置,防止因壓力過(guò)高導(dǎo)致意外爆炸;氣體管道內(nèi)置止回閥和防爆膜,防止倒流和泄漏;控制系統(tǒng)則具有超溫報(bào)警、斷電自動(dòng)保護(hù)等功能,確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定可靠。
溫控系統(tǒng)與自動(dòng)化功能
現(xiàn)代高溫管式氣氛爐普遍采用先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)和觸摸屏操作界面,用戶(hù)可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求設(shè)定升溫曲線(xiàn)、恒溫時(shí)間及降溫速率等參數(shù)。部分型號(hào)還支持程序段編程,最多可設(shè)置上百個(gè)控溫步驟,滿(mǎn)足復(fù)雜熱處理工藝的需求。
同時(shí),設(shè)備支持與計(jì)算機(jī)連接,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄。通過(guò)專(zhuān)用軟件,用戶(hù)可以實(shí)時(shí)查看當(dāng)前溫度、氣體流量、加熱狀態(tài)等信息,并導(dǎo)出實(shí)驗(yàn)過(guò)程數(shù)據(jù)用于后續(xù)分析,提升科研效率和數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
使用體驗(yàn)與維護(hù)保養(yǎng)
從用戶(hù)的實(shí)際使用反饋來(lái)看,高溫管式氣氛爐操作簡(jiǎn)便、穩(wěn)定性好,尤其適合小批量、多參數(shù)變化的科研實(shí)驗(yàn)。其模塊化設(shè)計(jì)便于更換爐管和維修加熱元件,降低了后期維護(hù)成本。日常使用中需注意定期清理爐膛內(nèi)部雜質(zhì),檢查氣體管道密封性,并避免驟升驟降溫度,以延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
綜上所述,實(shí)驗(yàn)室用高溫管式氣氛爐憑借其優(yōu)異的性能、可靠的控制和良好的安全性,在半導(dǎo)體材料燒結(jié)與納米粉體合成等前沿研究領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。隨著材料科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步,該類(lèi)設(shè)備也將朝著更高精度、更智能化的方向持續(xù)發(fā)展。
我司在高溫電爐領(lǐng)域有著超過(guò)15年的經(jīng)驗(yàn)、主營(yíng)產(chǎn)品包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、坩堝爐、升降爐、臺(tái)車(chē)爐、牙科義齒爐、晶體生長(zhǎng)爐、真空爐、石墨爐、排膠爐、等300°-3000°高溫設(shè)備,并可提供各種非標(biāo)定制,方案合理即可
真空管式氣氛爐主要功能和特點(diǎn):
1、爐膛采用優(yōu)質(zhì)氧化鋁纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無(wú)雜球,純度高,節(jié)能效果明顯;
2、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)HRE電阻絲,大大提高了其使用壽命;
3、超溫報(bào)警,漏電保護(hù),操作安全可靠。
真空管式氣氛爐主要用途和適用范圍:
用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):
最高溫度 | 1200℃ |
常用使用溫度 | 1100℃以下 |
加熱元件 | 電阻絲 |
加熱方式 | 雙面加熱 |
熱電偶 | K 型 |
控溫精確度 | ±1℃ |
工作電壓 | 220V/2KW |
外觀(guān)設(shè)計(jì) | 電爐采用人性化設(shè)計(jì),美觀(guān)大方,操作簡(jiǎn)單,外層漆層使用噴塑高 溫烘烤工藝。有耐高溫耐氧化,耐酸堿能力。 |
殼體設(shè)計(jì) | 電爐殼體采用雙層強(qiáng)制風(fēng)冷構(gòu)造,使電爐在高溫度時(shí)爐殼外部溫度 接近室溫,避免了意外傷害發(fā)生。 |
爐膛結(jié)構(gòu) | 一體化緊湊設(shè)計(jì),臺(tái)階式拼接結(jié)構(gòu),符合力學(xué)定律,加熱時(shí)受力均 勻,保障了熱能不易散失,延長(zhǎng)了爐膛使用壽命。 |
爐膛材質(zhì) | 爐膛材質(zhì)采用先進(jìn)的輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維,具有保溫效果優(yōu)良,質(zhì)輕耐高溫,耐極冷極熱,不易裂縫,不易結(jié)晶,不易掉渣,不用擔(dān) 心污染所燒制產(chǎn)品。節(jié)能效果是老式電爐的 60%-80%。 |
溫度控制 | 可設(shè)定 30段智能可編程PID自整定,一鍵操作, 自動(dòng)升溫, 自動(dòng)降溫,無(wú)需守值,操作簡(jiǎn)單方 便。 |
升溫速率 | 0--20℃/min 任意設(shè)定,建議≦10℃/min |
安全保護(hù) | 電爐采用集成化電路,模塊控制.(具有偏溫保護(hù)、超溫保護(hù)、斷偶 保護(hù)、超流保護(hù)、等保護(hù)功能)使電爐工作穩(wěn)定可靠安全。 |
可通氣體 | 所有惰性氣體,混合氣體,氮?dú)?、氧氣、一氧化碳、氬氣等?/span> |
氣體控制 | 進(jìn)氣端可設(shè)置 1 個(gè)進(jìn)氣口,可選配多個(gè)進(jìn)氣口、每個(gè)進(jìn)氣口均設(shè)有針閥,連接真空表一個(gè)。出氣端連接出氣孔一個(gè),抽真孔一個(gè),所有孔均設(shè)針閥。 配備真空泵一臺(tái)。 |
極限真空度 | -0.1mpa |
密封方式 | 采用 304 不銹鋼法蘭,具有裝卸方便,抗氧化,抗酸堿,雙層密封,保證了密封性。 |
保修期 | 爐體保修一年(加熱體易損件除外),終身維護(hù) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 真空泵一臺(tái)、坩堝勾 1 把,防高溫手套 1 雙,使用說(shuō)明書(shū) 1 份,合 格證,保修卡。 |
產(chǎn)品認(rèn)證 | 本產(chǎn)品通過(guò)歐盟標(biāo)準(zhǔn) CE 認(rèn)證 ISO 9001:2015 質(zhì)量管理體系認(rèn)證 |
包裝 | 出口木箱包裝并且內(nèi)有發(fā)泡沫填充,塑料薄膜包裹爐體。 |
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